Далее представлены технологические этапы.

На подложку кремния со слоем SiO₂ толщиной 10нм катодным распылением наносится слой чистого алюминия (99.999%). Отмечено, что упорядоченность структуры нанопор улучшается в процессе окисления, поэтому исходная толщина алюминия составляла 20мкм. Проводится первый этап анодного окисления при концентрации щавелевой кислоты 0.15M/л, напряжении 40В и температуре 3°С до остаточной толщины Al 1000нм. Затем вся пористая окись алюминия удаляется в смеси жидких кислот HF и H₃PO₄. Поверхность оставшегося алюминия имеет упорядоченную шероховатость в виде донной оконечности микропор. Поэтому второй этап окисления оставшейся пленки Al происходит с хорошей самоорганизацией системы микропор до упора в SiO₂. Диаметр нанопор 25нм с расстоянием меж ними 90нм.

Для успеха последующего сухого травления поперечник пор немного увеличивали травлением в разбавленной фосфорной кислоте (~до 36нм), так что стенки из окиси алюминия между порами и на дне имеют толщину 50нм и 30нм, соответственно, а аспектное соотношение в геометрии пор составляет 2-5. На рисунке схематически показан вид подложки перед реактивным ионным травлением в плазме хлора. В матрице каждый ряд пор смещен относительно соседей на полпериода. Слои Al₂O₃ и SiO₂ на дне удаляются ВЧ-плазменным травлением в хлоре. Затем 5 мин травится кремний при постоянном смещении более -400В и 30мТорр хлора. При толщинах Al₂O₃ 200, 150, 130 и 50нм образуются нанопоры с аспектным отношением 5, 3.8, 3.2 и 1.3, соответственно. После удаления Al₂O₃ на дне пор кремний травится быстро. Отмечено, что с увеличением аспектного отношения (АО= 1, 2, 3) наблюдается уменьшение видимого диаметра поры d=30, 20 и 13нм (при исходном диаметре 45нм). Такое поведение объясняется тем, что при высоком потенциале (около -530В) вместе с химическим травлением происходит физическое распыление. При травлении Al₂O₃ в хлорной плазме образуются нелетучие соединения AlCl_x и AlO_x. В порах с большим аспектным отношением выход этого потока затруднен, и они успевают осесть на стенках, сужая пору.

Предполагается, что система наноотверстий в кремнии может служить формой для осаждения системы полевых эмиттеров из алмаза или вольфрама с высокой плотностью расположения.

Нет нужды подробно говорить об этом крупном начинании в культурной и духовной жизни России - история театра широко известна. Обратимся лишь к тем эпизодам его становления, которые неразрывно связаны с именем Морозова. Для создания нового театра, цели и задачи которого значительно отличались от существовавших в то время, требовались крупные средства, которых у инициаторов не было. Начался поиск меценатов. Городская дума на просьбу о субсидии не откликнулась. Немирович-Данченко, который вел административно-финансовую часть нового театра, решил обратиться за помощью к предпринимателям, состоявшим директорами- попечителями Филармонического общества. В их числе были крупные капиталисты: директор Егорьевской бумагопрядильной фабрики, Норской мануфактуры и Северного страхового общества Д. Р. Востряков, владелец фабрики металлических пуговиц и фирмы по изготовлению музыкальных инструментов К. А. Гутхейль, московский миллионер-виноторговец К. К. Ушков и другие. Сравнительно небольшие денежные взносы позволяли этим дельцам на концертах "занимать места в первых рядах" и "перед всей Москвой щеголять своим меценатством". Ушков обещал 4 тысячи, остальные - и того меньше; требовалась более солидная поддержка, ведь театр мыслился как "общедоступный", с очень умеренными ценами на билеты.

Лишь в конце 1897 г. или начале 1898 г., когда Станиславский и Немирович-Данченко обратились к Морозову, он сразу же внес 10 тыс. руб., поставив лишь одно условие: театр не должен иметь никакого "высочайшего покровительства". Театр он любил страстно, постоянно посещал спектакли в Москве, Петербурге Нижнем Новгороде, куда летом, на время ярмарки, съезжались театральные труппы со всей России. Сохранились свидетельства, что Савва Тимофеевич оказывал и раньше поддержку театральным начинаниям.

Еще в начале 90-х годов XIX в. он предоставил средства Московскому частному театру. Актер В. П. Далматов вспоминал, что в тот раз, передавая деньги, Морозов настоятельно просил сохранить это в тайне: "Понимаете, коммерция руководствуется собственным катехизисом. И потому я буду просить Вас и Ваших товарищей ничего обо мне не говорить".

В марте 1898 г. возникает "Товарищество для учреждения в Москве "Общедоступного театра", в состав которого вошли Савва Тимофеевич и Сергей Тимофеевич Морозовы. После первых спектаклей, из которых лишь "Царь Федор Иоаннович" имел сдержанный успех, выяснилось, что денег катастрофически не хватает, дефицит составил 46 тыс. рублей. На помощь опять пришел С. Т. Морозов, преданный и бескорыстный друг театра. В сентябре 1899 г. О. Л. Книппер сообщила Чехову: В феврале 1900 г. Станиславский писал Немировичу-Данченко: "Не сомневаюсь в том, что такого помощника и деятеля баловница судьба посылает раз в жизни... такого именно человека я жду с самого начала моей театральной деятельности". И подчеркивал далее, что в порядочность Морозова, в отличие от других меценатов, "слепо верит". Для ликвидации дефицита и финансового оздоровления театра Савва Тимофеевич предложил "долг погасить и паевой взнос дублировать", что было и сделано.

В первый год существования Художественного театра Морозов потратил на него около 60 тыс. рублей; постепенно его пожертвования стали для театра важнейшим источником средств. Однако в то время он старался сохранить коллективную форму финансирования, убеждал других предпринимателей вносить деньги, хотя их сравнительно небольшие взносы существенной роли не играли. Увлечение театром говорит о высоких культурных запросах Морозова. Осенью 1900 г. Горький писал Чехову: "Когда я вижу Морозова за кулисами театра, в пыли и трепете за успех пьесы - я ему готов простить все его фабрики, - в чем он впрочем не нуждается, - я его люблю, ибо он бескорыстно любит искусство, что я почти осязаю в его мужицкой, купеческой, стяжательной душе". Имея в виду Художественныии.